Đĩa hút tĩnh điện
Đĩa hút tĩnh điện
Đĩa hút tĩnh điện
+
  • Đĩa hút tĩnh điện
  • Đĩa hút tĩnh điện
  • Đĩa hút tĩnh điện

Đĩa hút tĩnh điện

Chủ yếu được sử dụng cho các quy trình quan trọng và then chốt trong quy trình trước của bán dẫnngoai hang anh 2025, chẳng hạn như ăn mòn, deposittion màng mỏng, tiêm ion, oxi hóa, v.v.

Dùng nguyên lý hấp thụ tĩnh điện để giữ mỏng và đều các tấm wafer sạchkết quả tỷ số bóng đá trực tuyến, có khả năng hấp thụ đồng đều, không gây ô nhiễm, không làm hư hại và có thể áp dụng trong môi trường chân không cao.

Chất liệu là gốm nhôm oxit (loại Coulombkết quả tỷ số bóng đá trực tuyến, độ tinh khiết 96% và 99,6%), có thể cung cấp sản phẩm với đường kính lên đến 12 inch trở xuống, nhiệt độ làm việc từ -30°C đến +180°C; bề mặt gốm có thể được rãnh hoặc tạo hoa văn, độ gồ ghề có thể lựa chọn.