Đĩa hút tĩnh điện
Đĩa hút tĩnh điện
Đĩa hút tĩnh điện
+
  • Đĩa hút tĩnh điện
  • Đĩa hút tĩnh điện
  • Đĩa hút tĩnh điện

Đĩa hút tĩnh điện

Chủ yếu được sử dụng cho các quy trình quan trọng và then chốt trong quy trình trước của bán dẫnkết quả tỷ số bóng đá trực tuyến, chẳng hạn như ăn mòn, deposittion màng mỏng, tiêm ion, oxi hóa, v.v.

Dựa trên nguyên lý hấp thụ tĩnh điệnngoai hang anh 2025, phương pháp này giúp giữ phẳng và đều các tấm wafer bán dẫn siêu mỏng một cách hiệu quả, với đặc điểm nổi bật là lực hấp thụ đồng đều, không gây ô nhiễm, không làm hỏng sản phẩm và có thể áp dụng trong môi trường chân không cao.

Chất liệu được sử dụng là gốm nhôm oxit (loại Coulombngoai hang anh 2025, độ tinh khiết 96% và 99,6%), có khả năng cung cấp các sản phẩm với đường kính tối đa 12 inch và bên trong kích thước này. Nhiệt độ làm việc của vật liệu dao động từ -30°C đến +180°C; bề mặt gốm có thể được khắc rãnh, tạo hoa văn hoặc điều chỉnh độ gồ ghề theo yêu cầu khách hàng.